白光干涉儀介紹
    采用增加相位掃描干涉技術,是專為準確測量表面輪廓、粗糙度、臺階高度和其他表面參數而設計的微納米測量系統。
1、非接觸式測量:避免物件受損。
2、三維表面測量:表面高度測量范圍為1nm-200μm。
3、多重視野鏡片:方便物鏡的快速切換。
4、納米級分辨率:垂直分辨率可以達到0.1nm。
5、高速數字信號處理器:實現測量僅需要幾秒鐘。
6、掃描儀:采用閉環控制系統。
7、工作臺:氣動裝置、抗震、抗壓。
8、測量軟件:基于windows 操作系統的用戶界面,強大而快速的運算。

 

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